打破国外垄断局面！甬江实验室突破高端机械手表核心部件关键技术

　　8月10日，工作人员从甬江实验室获悉，甬江实验室功能材料与器件异构集成研究中心团队实现硅游丝、硅擒纵轮的国产化生产，打破国外长期以来在高端机械手表核心部件领域的技术垄断局面。

　　游丝、擒纵轮是高端机械手表核心部件，市面上的价格不菲。“游丝是机械表的‘心脏’部件，与摆轮共同构成调速机构。其弹性震荡控制摆轮的频率和振幅，直接决定机械表走时精度。”甬江实验室功能材料与器件异构集成研究中心主任万青说，擒纵轮是机械表擒纵系统的核心传动部件，通过与擒纵叉的一擒一纵动作，将发条能量转换为摆轮的周期性运动。

　　在功能材料与器件异构集成研究中心，记者看到该团队生产出的硅游丝，形状类似一盘缩小的蚊香，直径大约4~5毫米，相当于大拇指盖的九分之一。硅擒纵轮直径仅有大约3毫米，不足大拇指盖的十分之一。

　　值得一提的是，与国外同类产品相比，这些硅游丝、硅擒纵轮在性能上持平，价格却更低。“硅游丝、硅擒纵轮拥有抗磁性能强、稳定性高、轻量化、耐腐蚀性好、疲劳寿命更长等优势。”万青说，以轻量化优势为例，与钢、合金等同类产品相比，硅游丝、硅擒纵轮更轻便，可降低机械表机芯内的能量损耗，提升动力效能。

　　南京硅芯精密科技有限公司主营钟表、计时仪器制造与销售等方面。“2024年底，根据硅芯科技需求，团队开启游丝、擒纵轮的国产化生产创新之路。”万青说，团队另辟蹊径，没有采用传统工艺中昂贵的厚膜SOI（绝缘体上硅）晶圆，选用普通硅片作为原材料，通过自主研发技术，历时半年，成功加工出高性能硅游丝、硅擒纵轮产品。

　　在研发过程中，该团队克服诸多技术挑战。以临时键合与精密减薄技术为例，经过大量实验和反复优化，团队成功开发出独特工艺，实现硅片的超平整键合与高精度减薄，确保硅游丝、硅擒纵轮的加工精度和性能稳定性，满足硅芯科技需求，并通过客户实物验证。其中，硅游丝厚度已减至100微米。

　　目前，该团队利用一个直径为6英寸硅晶圆，可生产出380个硅游丝或750个硅擒纵轮。万青表示，团队将持续推动科技创新与产业创新融合发展，助力国内机械表产业链企业降低生产成本，有力支撑国产机械表走向全球。